इलेक्ट्रॉनिक्स के लिए उच्च शुद्धता क्रायोजेनिक वायु पृथक्करण इकाई
इलेक्ट्रॉनिक्स के लिए एक उच्च शुद्धता वाली क्रायोजेनिक वायु पृथक्करण इकाई सेमीकंडक्टर फैब्स, एलईडी एपिटैक्सी और पीवी सेल लाइनों को निरंतर 99.999%+ नाइट्रोजन, ऑक्सीजन या आर्गन की आपूर्ति करती है। यह इकाई बिना किसी साइकिल चालन के 24/7 संचालित होती है। आउटलेट अशुद्धियाँ आमतौर पर 1 पीपीएम कुल हाइड्रोकार्बन और 0.5 पीपीएम सीओ₂ से नीचे होती हैं।
प्रक्रिया विवरण
परिवेशी वायु को संपीड़ित किया जाता है, पहले से ठंडा किया जाता है, और एक शुद्धिकरण स्किड से गुजारा जाता है जो पानी, CO₂ और हाइड्रोकार्बन को हटा देता है। फिर स्वच्छ हवा दो आसवन स्तंभों वाले एक ठंडे बक्से में प्रवेश करती है। कॉलम ऑपरेटिंग तापमान -185 डिग्री और -196 डिग्री के बीच है। क्वथनांक (N₂: -196 डिग्री, O₂: -183 डिग्री) के आधार पर बार-बार वाष्पीकरण और संघनन द्वारा पृथक्करण होता है। उत्पाद गैस नाइट्रोजन के लिए उच्च दबाव वाले स्तंभ के शीर्ष से या ऑक्सीजन और आर्गन के लिए निम्न दबाव वाले स्तंभ से खींची जाती है।
विशिष्ट प्रदर्शन डेटा
| पैरामीटर | रेंज (डिज़ाइन शर्तों पर) |
|---|---|
| N₂ पवित्रता | 99.999% – 99.9999% |
| N₂ प्रवाह दर | 50 - 5,000 एनएम³/घंटा |
| ओ₂ पवित्रता | 99.6% – 99.999% |
| विशिष्ट शक्ति (N₂) | 0.38 - 0.45 kWh/Nm³ |
| डिलीवरी का दबाव | 0.4 - 1.0 एमपीए(जी) |
| शीत प्रारंभ का समय | 6 – 8 घंटे |
| स्टैंडबाय से हॉट रीस्टार्ट | ~20 मिनट |
मान साइट के परिवेश के तापमान, ठंडे पानी की स्थिति और अंतिम शुद्धता की आवश्यकता पर निर्भर करते हैं। प्रक्रिया अनुकरण से पुष्टि करें.
बिजली की खपत और विश्वसनीयता व्यापार{{0}बंद
इलेक्ट्रॉनिक्स के लिए किसी भी उच्च शुद्धता वाली क्रायोजेनिक वायु पृथक्करण इकाई के लिए, विशिष्ट बिजली की खपत सबसे बड़ी परिचालन लागत है। डिज़ाइन ऊपर दिखाई गई सीमा के भीतर शक्ति बनाए रखने के लिए उच्च दक्षता वाले टर्बोएक्सपैंडर और चरणबद्ध आसवन कॉलम का उपयोग करता है।
हालाँकि, इलेक्ट्रॉनिक्स फ़ैब्स को भी उच्च रुकावट जोखिम का सामना करना पड़ता है। गैस आपूर्ति विफलता पूरे वेफ़र लॉट को नष्ट कर सकती है। इसलिए, हम आम तौर पर वेपोराइज़र या स्टैंडबाय कॉलम के साथ एक तरल भंडारण टैंक जोड़ने की सलाह देते हैं। इससे पूंजीगत लागत बढ़ती है लेकिन उत्पादन हानि का जोखिम कम हो जाता है। कई ग्राहक अपने स्वयं के डाउनटाइम व्यय की गणना करने के बाद उच्च पहली लागत को स्वीकार करते हैं।
तकनीकी निर्देश
- पृथक्करण विधि: क्रायोजेनिक सुधार
- स्तंभ सामग्री: एल्यूमीनियम मिश्र धातु 5083 या 304/316एल स्टेनलेस स्टील
- नियंत्रण प्रणाली: मोडबस टीसीपी/आईपी रिमोट एक्सेस के साथ पीएलसी (सीमेंस या रॉकवेल) या डीसीएस
- उत्पाद में अवशिष्ट हाइड्रोकार्बन: <1 पीपीएम
- शुद्धिकरण के बाद CO₂: <0.5 पीपीएम
- उत्पाद ओस बिंदु: <-70 डिग्री
अनुकूलन विकल्प
प्रत्येक साइट की अलग-अलग स्थितियाँ होती हैं। हम समायोजित करते हैं:
- उच्च परिवेश के तापमान, आर्द्रता या ऊंचाई के लिए डिज़ाइन
- शुद्धता ग्रेड (उदाहरण के लिए, 99.9995% एन₂ केवल {{3%) कम कॉलम चरण, कम शक्ति)
- पूर्ण निष्कर्षण विन्यास (N₂ + O₂ + Ar एक साथ)
- तरल बैकअप सिस्टम एकीकरण (टैंक + वेपोराइज़र + स्वचालित परिवर्तन)
- स्थान सीमित साइटों के लिए कंटेनरीकृत या स्किड{0}माउंटेड लेआउट
अंतिम डिज़ाइन प्रस्तावित करने से पहले हमें साइट डेटा (परिवेश की स्थिति, आवश्यक प्रवाह, शुद्धता, दबाव) की आवश्यकता होती है।
सेवाएँ और प्रमाणपत्र
- दायरा: प्रक्रिया डिजाइन, निर्माण, साइट स्थापना, कमीशनिंग, ऑपरेटर प्रशिक्षण, चल रहे रखरखाव समर्थन
- प्रमाणपत्र: ISO 9001, ISO 14001, ASME या PED (यदि आवश्यक हो), चीन दबाव पोत लाइसेंस
- संदर्भ: एनडीए के तहत उपलब्ध है। बिना अनुमति के किसी भी ग्राहक का नाम साझा नहीं किया जाता।
शेंजर गैस के बारे में
शेंगर गैस इलेक्ट्रॉनिक्स के लिए उच्च शुद्धता वाली क्रायोजेनिक वायु पृथक्करण इकाई को वास्तविक साइट स्थितियों के आधार पर डिजाइन और निर्मित करती है, न कि पूर्व निर्धारित ब्रोशर के आधार पर। हम प्रत्येक प्रोजेक्ट के लिए एक पूर्ण प्रक्रिया सिमुलेशन चलाते हैं। दुकान निरीक्षण में हीलियम रिसाव परीक्षण और शीत प्रदर्शन जांच शामिल है। साइट पर, हम तब तक कमीशन देते हैं जब तक कि उत्पाद गैस लगातार 72 घंटों तक विनिर्देश के अनुरूप न हो जाए। यह हमारा हैंडओवर मानक है। डेटा के बिना कोई दावा नहीं.
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